作者: A. G. Jackson, T. W. Haas,
期刊: Journal of Vacuum Science and Technology (AIP Available online 1967) 卷期: Volume 4, issue 1
页码: 42-44
ISSN:0022-5355
年代: 1967
DOI:10.1116/1.1492517
出版商: American Vacuum Society
数据来源: AIP
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