作者: R. N. Bicknell, N. C. Giles‐Taylor, R. W. Yanka, J. F. Schetzina, T. J. Magee, C. Leung, H. Kawayoski, G. R. Woolhouse,
期刊: Journal of Vacuum Science&Technology B: Microelectronics Processing and Phenomena (AIP Available online 1984) 卷期: Volume 2, issue 3
页码: 417-418
ISSN:0734-211X
年代: 1984
DOI:10.1116/1.582886
出版商: American Vacuum Society
数据来源: AIP
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