The difference in topography induced by Ar+and Cl+ion bombardment of si

 

作者: W. Begemann,   S. Kostic,   M.J Nobes,   G.W Lewis,   G. Carter,  

 

期刊: Radiation Effects  （Taylor Available online 1985）
卷期: Volume 87, issue 5  

页码: 229-240

 

ISSN:0033-7579

 

年代: 1985

 

DOI:10.1080/01422448608209726

 

出版商: Taylor & Francis Group

 

数据来源: Taylor

 

 

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