Gas Flow Regulator for an rf Ion Source

 

作者: B. L. White,   L. P. Robertson,   K. L. Erdman,   J. R. MacDonald,  

 

期刊: Review of Scientific Instruments  （AIP Available online 1962）
卷期: Volume 33, issue 10  

页码: 1111-1112

 

ISSN:0034-6748

 

年代: 1962

 

DOI:10.1063/1.1717698

 

出版商: AIP

 

数据来源: AIP

 

 

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