作者: B. A. Joyce, J. H. Neave, P. J. Dobson, P. K. Larsen, J. Zhang,
期刊: Journal of Vacuum Science&Technology B: Microelectronics Processing and Phenomena (AIP Available online 1985) 卷期: Volume 3, issue 2
页码: 562-562
ISSN:0734-211X
年代: 1985
DOI:10.1116/1.583179
出版商: American Vacuum Society
数据来源: AIP
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