Erratum: Use of discharge intensity for evaluation of pumping characteristics of a sputter ion pump [J. Vac. Sci. Technol. A 2, 195 (1984)]

 

作者: M. Pierini,  

 

期刊: Journal of Vacuum Science&Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films  （AIP Available online 1984）
卷期: Volume 2, issue 4  

页码: 1613-1613

 

ISSN:0734-2101

 

年代: 1984

 

DOI:10.1116/1.572436

 

出版商: American Vacuum Society

 

数据来源: AIP

 

 

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