A Multicontact Probe for Dielectric Strength Measurements of an Array of MOS Capacitors

 

作者: Robert Hammer,  

 

期刊: Review of Scientific Instruments  （AIP Available online 1971）
卷期: Volume 42, issue 10  

页码: 1542-1543

 

ISSN:0034-6748

 

年代: 1971

 

DOI:10.1063/1.1684936

 

出版商: AIP

 

数据来源: AIP

 

 

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