作者: T. L. Willke, A. D. Feinerman,
期刊: Journal of Vacuum Science&Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena (AIP Available online 1996) 卷期: Volume 14, issue 6
页码: 3605-3605
ISSN:1071-1023
年代: 1996
DOI:10.1116/1.588736
出版商: American Vacuum Society
数据来源: AIP
点击下载: PDF (14KB)
返 回
版权所有 © 2009 NSTL国家科技图书文献中心
咨询热线:800-990-8900 010-58882057 Email:service@nstl.gov.cn
地址:北京市复兴路15号 100038 京ICP备05017586号