作者: M. G. Spencer, T. A. Kennedy, R. Magno,
期刊: Journal of Vacuum Science&Technology B: Microelectronics Processing and Phenomena (AIP Available online 1988) 卷期: Volume 6, issue 2
页码: 647-648
ISSN:0734-211X
年代: 1988
DOI:10.1116/1.584379
出版商: American Vacuum Society
关键词: (Al,Ga)As
数据来源: AIP
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