作者: Hiroshi Saeki, Takayasu Tanaka, Toshio Fukuda, Ken’ichi Kudou, Toshiro Higuchi, Hajime Ishimaru,
期刊: Journal of Vacuum Science&Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena (AIP Available online 1992) 卷期: Volume 10, issue 6
页码: 2491-2492
ISSN:1071-1023
年代: 1992
DOI:10.1116/1.586045
出版商: American Vacuum Society
关键词: DUSTS;ELECTROSTATIC DEVICES;INTEGRATED CIRCUITS;FABRICATION;DUST COLLECTORS;MANIPULATORS;PROBES;MICROELECTRONICS;DESIGN;SURFACE CLEANING
数据来源: AIP
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