Summary Abstract: Ion induced deposition of gold films

 

作者: J. S. Ro,   A. D. Dubner,   C. V. Thompson,   J. Melngailis,  

 

期刊: Journal of Vacuum Science&Technology B: Microelectronics Processing and Phenomena  （AIP Available online 1988）
卷期: Volume 6, issue 3  

页码: 1043-1043

 

ISSN:0734-211X

 

年代: 1988

 

DOI:10.1116/1.584346

 

出版商: American Vacuum Society

 

关键词: Au

 

数据来源: AIP

 

 

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