Low-Rate Gas Flow Meter

 

作者: Frederick O. Smetana,  

 

期刊: Journal of Vacuum Science and Technology  （AIP Available online 1966）
卷期: Volume 3, issue 6  

页码: 357-359

 

ISSN:0022-5355

 

年代: 1966

 

DOI:10.1116/1.1492507

 

出版商: American Vacuum Society

 

数据来源: AIP

 

 

点击下载:  PDF (446KB)

返 回