AbstractDie in der Mikroelektronik industriell angewandten Ionenstrahlverfahren finden mehr und mehr Eingang in die Materialforschung zur Oberflächenvergütung von Polymeren, Keramiken und Metallen. In diesem Beitrag werden zunächst die Ionenimplantation und die ionenstrahlgestützte Beschichtung (IBAD) methodisch und apparativ beschrieben. Sodann werden Beispiele für Grundlagenuntersuehungen zur Erzeugung harter, dichter, verschleiß‐ und korrosionsmindernder Randschichten erwähnt. Dabei wird besonders anf die Zusammenhänge zwischen Ionenstrahlparametern, Mikrostruktur der Schicht bzw. Grenzzone Schicht/Substrat und mechanischen und chemischen makroskopischen Systemeigenschaften eingegangen. Schließlich werden am Beispiel von Kolbenringen, Umformwerkzeugen und Wälzlagern Anwendungspotentiale der Verfahre