Design and implementation of a magnetic drive retrofit to the Vacuum Generator’s venetian style viewport shutter assembly

 

作者: C. M. Rouleau,   R. M. Park,  

 

期刊: Journal of Vacuum Science&Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films  （AIP Available online 1993）
卷期: Volume 11, issue 2  

页码: 464-465

 

ISSN:0734-2101

 

年代: 1993

 

DOI:10.1116/1.578756

 

出版商: American Vacuum Society

 

关键词: VACUUM SYSTEMS;SHUTTERS;DESIGN;RETROFITTING;FABRICATION

 

数据来源: AIP

 

摘要:

 

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