Es wird eine Analysenmethode beschrieben, die es gestagttet, geringe Mengen an Sauerstoff auf Oberflāchen quantitativ nachzuweisen. Grundlage der Methode ist die Kernreaktion18O (p. α)15N. Die Anzahl der bei dieser Kernreaktion “prompt” emittierten α-Teilchen ist ein Maβ fūr die Sauerstoffkonzentration auf der untersuchten Probenoberfläche. Die vorliegende Arbeit be faβt sich mit der Anwendung der Methoden auf die Korrosionsforschung. In Abhängigikeit von der korosiven Belastung kann der Sauerstoffgehalt dünner Oxidschichten (1 nm – 1 μm) an technisch interessanten Matyerialien bestimmt werden. Die experimentellen Einzelheiten des Verfahrens werden beschrieben. Die zur quantitativen Auswertung benötigten Gleichungen werden abgeleitet, und es wird die Nachweisgrenze abgeschātzt. Als Anwendungsbeispiel wird die thermische Oxydation von Nickel angeführt, für die sich unter den Versuchsbedingungen in guter Übereinstimmung mit der Literature ein logarithmisches Zeitgesetz ergibt.