作者: D. L. Miller, R. T. Chen, K. Elliott, S. P. Kowalczyk,
期刊: Journal of Vacuum Science&Technology B: Microelectronics Processing and Phenomena (AIP Available online 1985) 卷期: Volume 3, issue 2
页码: 560-561
ISSN:0734-211X
年代: 1985
DOI:10.1116/1.583178
出版商: American Vacuum Society
数据来源: AIP
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