Die Methode der β-Rückstreuung läβt zunächst nur Gehaltsbestimmungen an Zweistoffsystemen zu; ihre Kombination mit anderen, ebenfalls nicht stoffspezifischen Meβverfahren führt zur Möglichkeit der Gehaltsbestimmung in Mehrstoffsystemen. In der vorliegenden Arbeit wird – u. a. aus Gründen der Probenpräparation – die Kombination der Messung rückgestreuter β-Strahlung mit der Messung von in rückwärtiger Richtung austretenden γ-Sekundärelektronen zur Gehaltsbestimmung an Dreistoffsystemen diskutiert.