Incorporation of rapid isothermal processor in a vacuum system

 

作者: F. Radpour,   S. Anandakugan,   P. Chou,   R. Singh,  

 

期刊: Journal of Vacuum Science&Technology B: Microelectronics Processing and Phenomena  （AIP Available online 1988）
卷期: Volume 6, issue 1  

页码: 95-96

 

ISSN:0734-211X

 

年代: 1988

 

DOI:10.1116/1.584060

 

出版商: American Vacuum Society

 

关键词: VACUUM SYSTEMS;SAMPLE PREPARATION;WAFERS;EFFICIENCY;PROCESSING

 

数据来源: AIP

 

 

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