An investigation of cluster formation in an ionized cluster beam deposition source

 

作者: R. L. McEachern,   W. L. Brown,   M. F. Jarrold,   M. Sosnowski,   G. Takaoka,   H. Usui,   I. Yamada,  

 

期刊: Journal of Vacuum Science&Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films  （AIP Available online 1991）
卷期: Volume 9, issue 6  

页码: 3105-3112

 

ISSN:0734-2101

 

年代: 1991

 

DOI:10.1116/1.577180

 

出版商: American Vacuum Society

 

关键词: SILVER;ATOMIC CLUSTERS;THIN FILMS;PHYSICAL VAPOR DEPOSITION;PHOTOIONIZATION;TIME−OF−FLIGHT METHOD;Ag

 

数据来源: AIP

 

摘要:

 

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