Semiconductor Technology: The Role of Thin Insulating Films

 

作者: H. E. Nigh,  

 

期刊: Journal of Vacuum Science and Technology  （AIP Available online 1972）
卷期: Volume 9, issue 1  

页码: 38-38

 

ISSN:0022-5355

 

年代: 1972

 

DOI:10.1116/1.1316624

 

出版商: American Vacuum Society

 

数据来源: AIP

 

 

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