作者: S. Hiyamizu, T. Mimura,
期刊: Journal of Vacuum Science&Technology B: Microelectronics Processing and Phenomena (AIP Available online 1983) 卷期: Volume 1, issue 2
页码: 456-456
ISSN:0734-211X
年代: 1983
DOI:10.1116/1.582626
出版商: American Vacuum Society
数据来源: AIP
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