Characterization of thin, transparent and conductive TiN films prepared by radio frequency sputtering

 

作者: Midori Kawamura,   Yoshio Abe,   Katsutaka Sasaki,  

 

期刊: Journal of Vacuum Science&Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films  （AIP Available online 1998）
卷期: Volume 16, issue 1  

页码: 200-202

 

ISSN:0734-2101

 

年代: 1998

 

DOI:10.1116/1.580970

 

出版商: American Vacuum Society

 

数据来源: AIP

 

 

点击下载:  PDF (73KB)

返 回