MitHilfe von Mehrstrahlinterferenzen lassen sich die Höhen Δ z kleiner Spiegelstufen bestimmen, die wesentlich kleiner als λ /2 sein können (Tolanskyu. a.). Jedoch wird eine höhere Tiefenauflösung (Δz) nur auf Kosten einer geringeren Lateralauflösung (Δx) erreicht und umgekehrt (Ingelstam 1953). Experimente mit einem cm-Wellen-Interferometer und anschließende Betrachtungen zeigen, daß eine solche Auflösungsbeschränkung durch Beugungseffekte innerhalb der dreidimensional ausgedehnten Interferenzobjekte bedingt ist. Quantitative Betrachtungen liefern als Bedingung : Δx2. Δz≧q. (λ /2)3. (Dabei istqdie durch den Spiegelabstandb.q. λ /2 gegebene Ordnungszahl der Interferenz.) Diese Beziehung wird sowohl durch Messungen mit cm-Wellen, als auch durch Beobachtung mit Mehrstrahlinterferenz-Mikroskopen bestätigt.