Summary Abstract: Molecular beam epitaxial growth of GaAs/AlGaAs heterojunction material for bipolar integrated circuits

 

作者: H. D. Shih,   S. E. Matteson,   W. V. McLevige,   H. T. Yuan,  

 

期刊: Journal of Vacuum Science&Technology B: Microelectronics Processing and Phenomena  （AIP Available online 1985）
卷期: Volume 3, issue 2  

页码: 793-793

 

ISSN:0734-211X

 

年代: 1985

 

DOI:10.1116/1.583102

 

出版商: American Vacuum Society

 

数据来源: AIP

 

 

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