Die Justierung von ebenen Strukturen relativ zueinander kann an Hand von Moiré-Interferenzstreifen vorgenommen werden. Moiré's von linearen Gittern eignen sich als Justierkriterium für den Drehungsfreiheitsgrad und die von Radialgittern für die Translationsfreiheitsgrade. Als Justierkriterium wird das Verschwinden einer Differenz zweier Photowechselspannungen von zwei Detektoren am Rande des Gesichtsfeldes verwendet. Zum Erzeugen der Wechselspannung wird das Moiré-Interferenzbild durch geeignete Mittel gewobbelt. Mit einem relativ groben Raster wurden in einer Testanordnung die prinzipielle Funktion und die Meßgenauigkeit untersucht.