作者: P. H. Mahowald, R. S. List, W. E. Spicer, J. Woicik, P. Pianetta,
期刊: Journal of Vacuum Science&Technology B: Microelectronics Processing and Phenomena (AIP Available online 1986) 卷期: Volume 4, issue 1
页码: 45-45
ISSN:0734-211X
年代: 1986
DOI:10.1116/1.583350
出版商: American Vacuum Society
数据来源: AIP
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