作者: T. M. Kerr, T. D. McLean, D. I. Westwood, J. D. Grange,
期刊: Journal of Vacuum Science&Technology B: Microelectronics Processing and Phenomena (AIP Available online 1985) 卷期: Volume 3, issue 2
页码: 535-535
ISSN:0734-211X
年代: 1985
DOI:10.1116/1.583170
出版商: American Vacuum Society
数据来源: AIP
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