Surface and depth distribution damage of ions in silicon as seen with an electron microscope

 

作者: M. Bertolotti,   D. Sette,   L. Stagni,   G. Vitali,  

 

期刊: Radiation Effects  （Taylor Available online 1972）
卷期: Volume 15, issue 1-2  

页码: 31-35

 

ISSN:0033-7579

 

年代: 1972

 

DOI:10.1080/00337577208232578

 

出版商: Taylor & Francis Group

 

数据来源: Taylor

 

 

点击下载:  PDF (846KB)

返 回