Radio‐frequency sputtered indium tin oxide thin films

 

作者: Michael Russak,   Jerome De Carlo,  

 

期刊: Journal of Vacuum Science&Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films  （AIP Available online 1983）
卷期: Volume 1, issue 3  

页码: 1563-1564

 

ISSN:0734-2101

 

年代: 1983

 

DOI:10.1116/1.572263

 

出版商: American Vacuum Society

 

关键词: ito layers;thin films;sputtering;light transmission;helium−neon lasers;laser radiation;electric conductivity

 

数据来源: AIP

 

 

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