Improved Method of Etching by Ion Bombardment

 

作者: T. K. Bierlein,   B. Mastel,  

 

期刊: Review of Scientific Instruments  （AIP Available online 1959）
卷期: Volume 30, issue 9  

页码: 832-833

 

ISSN:0034-6748

 

年代: 1959

 

DOI:10.1063/1.1716768

 

出版商: AIP

 

数据来源: AIP

 

 

点击下载:  PDF (169KB)

返 回