作者: R. F. C. Farrow, A. J. Noreika, F. A. Shirland, W. J. Takei, M. H. Francombe,
期刊: Journal of Vacuum Science&Technology B: Microelectronics Processing and Phenomena (AIP Available online 1984) 卷期: Volume 2, issue 2
页码: 211-211
ISSN:0734-211X
年代: 1984
DOI:10.1116/1.582784
出版商: American Vacuum Society
数据来源: AIP
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