Book Review: Laser annealing of semiconductors

 

作者: David Biegelsen,  

 

期刊: Journal of Vacuum Science&Technology B: Microelectronics Processing and Phenomena  （AIP Available online 1984）
卷期: Volume 2, issue 1  

页码: 90-90

 

ISSN:0734-211X

 

年代: 1984

 

DOI:10.1116/1.582925

 

出版商: American Vacuum Society

 

数据来源: AIP

 

 

点击下载:  PDF (28KB)

返 回