Low-energy boron implants into silicon: A molecular dynamics simulation study of implants into a stepped surface

 

作者: A. M. Mazzone,  

 

期刊: Philosophical Magazine Letters  （Taylor Available online 2000）
卷期: Volume 80, issue 9  

页码: 641-646

 

ISSN:0950-0839

 

年代: 2000

 

DOI:10.1080/09500830050134363

 

出版商: Taylor & Francis Group

 

数据来源: Taylor

 

 

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