Diffusion of Phosphorus in Silicon from the Azeotrope of Phosphorus Pentoxide and Water

 

作者: Robert P. Lothrop,  

 

期刊: Journal of Applied Physics  （AIP Available online 1962）
卷期: Volume 33, issue 8  

页码: 2656-2656

 

ISSN:0021-8979

 

年代: 1962

 

DOI:10.1063/1.1729042

 

出版商: AIP

 

数据来源: AIP

 

 

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