Summary Abstract: State‐of‐the‐art AlGaAs alloys by antimony doping

 

作者: T. M. Kerr,   T. D. McLean,   D. I. Westwood,   J. D. Medland,   S. R. Blight,   C. E. C. Wood,  

 

期刊: Journal of Vacuum Science&Technology B: Microelectronics Processing and Phenomena  （AIP Available online 1986）
卷期: Volume 4, issue 2  

页码: 521-522

 

ISSN:0734-211X

 

年代: 1986

 

DOI:10.1116/1.583415

 

出版商: American Vacuum Society

 

关键词: (Al,Ga)As

 

数据来源: AIP

 

 

点击下载:  PDF (169KB)

返 回