Reactive Deposition of Cubic Silicon Carbide

 

作者: Arthur J. Learn,   K. E. Haq,  

 

期刊: Journal of Applied Physics  （AIP Available online 1969）
卷期: Volume 40, issue 1  

页码: 430-430

 

ISSN:0021-8979

 

年代: 1969

 

DOI:10.1063/1.1657082

 

出版商: AIP

 

数据来源: AIP

 

 

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