Variable Temperature, Rotating Substrate for Vacuum Deposition

 

作者: Jack Hohenstein,  

 

期刊: Review of Scientific Instruments  （AIP Available online 1967）
卷期: Volume 38, issue 8  

页码: 1168-1170

 

ISSN:0034-6748

 

年代: 1967

 

DOI:10.1063/1.1721050

 

出版商: AIP

 

数据来源: AIP

 

 

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