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Mathematisch-Statistche Auswertung der Ergebnisse von Neutronenaktivierungsanalysen zur Ermittlung von Konzentrationsprofilen in Silizium

 

作者: W. Heinze,   M. Kahl,  

 

期刊: Isotopenpraxis Isotopes in Environmental and Health Studies  （Taylor Available online 1975）
卷期: Volume 11, issue 6  

页码: 210-215

 

ISSN:0021-1915

 

年代: 1975

 

DOI:10.1080/10256017508543777

 

出版商: Taylor & Francis Group

 

关键词: activation analysis;concentration profiles;content measuring;diffusion;dotants;neutrons;phosphorus;semiconductors;silicon;statistics

 

数据来源: Taylor

 

摘要:

Es wird erläutert, wie man mittels mathematisch-statistischer Auswertung der Meβergebnisse von Neutronenaktivierungsanalysen zu einer objektiven Beurteilung der dadurch ermittelten Konzentrationsprofile von Dotierungselementen in Silizium gelangen kann.

 

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