作者: R. T. Collins, J. Lambe, T. C. McGill, R. D. Burnham,
期刊: Journal of Vacuum Science&Technology B: Microelectronics Processing and Phenomena (AIP Available online 1984) 卷期: Volume 2, issue 2
页码: 201-202
ISSN:0734-211X
年代: 1984
DOI:10.1116/1.582779
出版商: American Vacuum Society
数据来源: AIP
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