作者: Li Zhou, Jon Orloff,
期刊: Journal of Vacuum Science&Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena (AIP Available online 1992) 卷期: Volume 10, issue 3
页码: 1228-1228
ISSN:1071-1023
年代: 1992
DOI:10.1116/1.585895
出版商: American Vacuum Society
数据来源: AIP
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