作者: C. W. Farley, J. A. Higgins, W.‐J. Ho, B. T. McDermott, M. F. Chang,
期刊: Journal of Vacuum Science&Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena (AIP Available online 1992) 卷期: Volume 10, issue 4
页码: 1343-1343
ISSN:1071-1023
年代: 1992
DOI:10.1116/1.585867
出版商: American Vacuum Society
数据来源: AIP
点击下载: PDF (20KB)
返 回
版权所有 © 2009 NSTL国家科技图书文献中心
咨询热线:800-990-8900 010-58882057 Email:service@nstl.gov.cn
地址:北京市复兴路15号 100038 京ICP备05017586号