Sample carousel transfer mechanism

 

作者: D. H. Fearon,   H. F. Helbig,   S. A. Steward,   F. S. Uribe,  

 

期刊: Journal of Vacuum Science&Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films  （AIP Available online 1983）
卷期: Volume 1, issue 3  

页码: 1558-1560

 

ISSN:0734-2101

 

年代: 1983

 

DOI:10.1116/1.572188

 

出版商: American Vacuum Society

 

关键词: design;sample preparation;vacuum systems;rotation;loading;fabrication

 

数据来源: AIP

 

摘要:

 

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