作者: F. M. Bufler, P. Graf, B. Meinerzhagen, G. Fischer, H. Kibbel,
期刊: Journal of Vacuum Science&Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena (AIP Available online 1998) 卷期: Volume 16, issue 5
页码: 2906-2906
ISSN:1071-1023
年代: 1998
DOI:10.1116/1.590293
出版商: American Vacuum Society
数据来源: AIP
点击下载: PDF (27KB)
返 回
版权所有 © 2009 NSTL国家科技图书文献中心
咨询热线:800-990-8900 010-58882057 Email:service@nstl.gov.cn
地址:北京市复兴路15号 100038 京ICP备05017586号