Summary Abstract: Qualitative description of cluster and droplet emission from liquid‐metal ion sources

 

作者: A. Bahasadri,   K. Pourrezaei,   M. Francois,   D. Nayak,  

 

期刊: Journal of Vacuum Science&Technology B: Microelectronics Processing and Phenomena  （AIP Available online 1988）
卷期: Volume 6, issue 1  

页码: 496-497

 

ISSN:0734-211X

 

年代: 1988

 

DOI:10.1116/1.584050

 

出版商: American Vacuum Society

 

数据来源: AIP

 

 

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