Editorial: Advances in polymeric resist materials for microlithography

 

作者: M. J. Bowden,  

 

期刊: Polymers for Advanced Technologies  （WILEY Available online 1994）
卷期: Volume 5, issue 1  

页码: 1-1

 

ISSN:1042-7147

 

年代: 1994

 

DOI:10.1002/pat.1994.220050101

 

出版商: John Wiley&Sons, Ltd.

 

数据来源: WILEY

 

 

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