Influence of ultrasonic agitation on the electrical behavior of ion implanted silicon

 

作者: N.G. E. Johansson,   J.W. Mayer,  

 

期刊: Radiation Effects  （Taylor Available online 1969）
卷期: Volume 2, issue 1  

页码: 61-62

 

ISSN:0033-7579

 

年代: 1969

 

DOI:10.1080/00337576908235582

 

出版商: Taylor & Francis Group

 

数据来源: Taylor

 

 

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