Thin High-Vacuum Gate Valve

 

作者: Richard J. Ugiansky,  

 

期刊: Journal of Vacuum Science and Technology  （AIP Available online 1970）
卷期: Volume 7, issue 4  

页码: 498-501

 

ISSN:0022-5355

 

年代: 1970

 

DOI:10.1116/1.1315377

 

出版商: American Vacuum Society

 

数据来源: AIP

 

 

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