AbstractDie Mikrostrukturen und damit die makroskopischen Eigenschaften von Hartstoffschutzschichten hängen beim Magnetronsputtern mit Ionenplattieren entscheidend von der Energie der Plattierionen e·Uplund dem Quotienten Jpl/Jsbder Flüsse der Plattierionen und der schichtbildenden Teilchen ab. Für übliche Anlagen läßt sich Jpl/Jsbim Bereich von 0.01 und 100 leicht einstellen und auf diese Weise der Energieeintrag in die Schicht regeln. In den Hartstoffschichten WC, Cr3C2, SiC und amorphem C werden Phasenübergänge durch Variation von e·Uplund Jpl/Jsbinduziert.Für Zweistoffviellagenschichten bestehend aus Cr3C2, SiC und Al2O3wird gezeigt, daß starke Veränderungen der mechanischen Eigenschaften auftreten, wenn die Einzellagendicke ca. 10 bis 20 nm beträgt. Verursacht wird dieser Dimensionalitätseffekt durch eine ausgedehnte Raumladung (elektronisches Interface) an der Grenzfläche, aus der freie Elektronen des Metalls in das halbleitende Material eindringen und dort unabgesättigte Bindungen (dangling bonds) sättigen mit der Folge, daß die Viellagenschichten Eigenschaften aufweisen, die denen einer Schicht mit metallischen Bi