作者: A. Robertson, T. H. Chiu, W. T. Tsang, J. E. Cunningham,
期刊: Journal of Vacuum Science&Technology B: Microelectronics Processing and Phenomena (AIP Available online 1988) 卷期: Volume 6, issue 2
页码: 608-609
ISSN:0734-211X
年代: 1988
DOI:10.1116/1.584410
出版商: American Vacuum Society
关键词: GaAs
数据来源: AIP
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