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Zur Möglichkeit der Answendung der autoradiographischen Methode in der Halbleitertechnik

 

作者: H. Schmidt,   J. Dubnack,  

 

期刊: Isotopenpraxis Isotopes in Environmental and Health Studies  （Taylor Available online 1973）
卷期: Volume 9, issue 7  

页码: 251-255

 

ISSN:0021-1915

 

年代: 1973

 

DOI:10.1080/10256017308623230

 

出版商: Taylor & Francis Group

 

关键词: autoradiography;reviews;semiconductors;technology

 

数据来源: Taylor

 

摘要:

Ausgehend von den Vorteilen, die die Anwendung der autoradiographischen Methode hei der Bestimmung der Verteilung von Dotierungsmaterial in der Halbleitertechnik bietet werden die Schwierigkeiten angeführt, die einer breiteren Anwendung dieser Methode entgegenstehen. Die daraus resultierenden Aufgaben für methodische Untersuchungen, bezogen auf die Anwendung in der Halbleitertechnik, werden formuliert.

 

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